SSB245/20型投影光刻機被動式空氣彈簧橡膠氣囊材質tanArax的時效性轉變。結論表明,除開一部分試樣,投影光刻機被動式空氣彈簧氣囊材質tanOuas在應用4年~13年之后，均是降低情況,D后又出現提升發展趨勢。此后狀況能夠確定下邊的老化全過程。應用4年~13年時的被動式空氣彈簧,由于受到交變應力或紫外光所導致的儲熱及其空氣氧化老化產生的影響，從而使得tan.na卜降。但是，通過--定階段之后，因為交變應力功效，一部分分子鏈斷開,分子結構自主運動擴大,進而仗tanAnax提升。這類全過程，如去掉初始階段，又與以朵用材料試片的耐疲憊特點加快老化實驗而進行的老化全過程相類似應用件在早期的耐疲憊特點實驗中，沒發現tanAnx有提升發展趨勢。投影光刻機被動式空氣彈簧那可稱之為4年里所使用的應力標準超出10*次拉申應力的前提條件，或者因為交變應力所引起的儲熱紫外光等空氣氧化老化要素的功效明顯的原因出之上結論能夠推斷，做為被動式空氣彈簧氣襄的老化要素,要以交變應力為載體，再用熱、紫外光等空氣氧化老化要素相復合型。

次之，拉伸實驗中確定了表明老化趨向位置和角度，即上端在①面、②面豎直方向，中間在①面、②面豎直、水平方向，下邊在@面垂古水平方向，全是應用16年之后tanAna有明顯提升發展趨勢那可覺得主要是因為交變應力，一部分分子鏈斷開，分子結構自主運動增人原因。另一方面，抗壓強度降低比較小的上端①面、被動式空氣彈簧②面水平方向及下邊②面豎直水平方向，即便大概使用16年后環節，則tanO.x表示微增或下跌趨勢。從一些結論能夠推斷，從上到下各部位，因為分子鏈;的斷開少，被動式空氣彈簧依然維持抗壓強度。