SSX600系列步進掃描投影光刻機被動式空氣彈簧塑膠試片工藝性能實驗(1)拉伸實驗被動式空氣彈簧的抗拉強度的時效性轉變那樣,步進掃描投影光刻機被動式空氣彈簧氣囊的抗拉強度伴隨著使用壽命問的問題的增加大概表明下降的態勢,應用16年之后也發現了，一些試樣的抗拉強度下降了50百分比上下。那樣,抗拉強度降低50百分比之上則可判定為顯著的下降。在氣襄工藝性能層面，針對超出本實驗階段的應用，需要進行深思熟慮。
詳細的剖析每個老化趨向時，確定了下列老化特點先,在中間，①面、②面豎直及水平方向強度都有下降,①面下降水平略大些。步進掃描投影光刻機被動式空氣彈簧主要原因能夠稱之為橫著晃動產生的影響，與此同時也可以稱之為紫外線的危害。從而結論獲知，氣囊中間是很容易變形消化吸收振動的主要一部分。
次之,有關上端,其水不角度的抗拉強度使用4年時，雖然也有一-定初期老化,但應用13年~16年之后，①面、②面抗拉強度下降量均比較小。與其相匹配，有關.上端的豎直方向,其①面、②面抗拉強度的下降量與中間一樣,變型比較大。從而結論獲知，上端在機器運行中,①面、②面二者都為豎直方向的振動影響較大,而水平方向的振動危害則比較小。有關下邊,①面抗拉強度的下降,在豎直和水平方向均比較大，而②面無論哪個地方均比較小。那可確定主要是因為下邊橫著晃動所導致的疲憊要素大因此，步進掃描投影光刻機被動式空氣彈簧氣囊下邊常采取將零配件快速地固定于牽引電機上。由此能夠確定,氣囊下邊隨著牽引電機與機器的相對性振動偏移承受了激烈的運動。牽引電機與機器設備間的比較大振動通常是機器的豎向及橫著(橫著晃動)健身運動，機器的豎向受設備和牽引電機框架的彎曲剛度所管束，其健身運動獲得限定。另一方面，被動式空氣彈簧因為運行時曲線圖里的晃動等因素,機器設備方位運動非常容易擴大所以可以確定，下邊②面振動負載小又下邊①面振動負載則比較大。
