空氣彈簧生產工藝介紹

小型化是MEMS商品的一個突顯特性。伴隨著微系統技術性的發展趨勢，一些MEMS元器件的規格早已進到亞微米級。這種小型元器件早已超過了傳統式的生產加工技術性可以進行。因而，對于這種元器件開發設計了一系列生產加工技術性，即MEMS技術性或微系統生產加工技術性。

現階段業內應用的MEMS微生產加工技術性包含：體硅微生產加工（Bulk）、表層微生產加工（）、LIGA加工工藝（光刻技術、電鑄和成形）。三種加工工藝方式中的每一種都是有其優勢和局限。

1、體硅微生產加工

體硅微機械加工制造是根據對襯底開展各種各樣或各向異性離子注入，在硅襯底上生產制造各種各樣機械系統元器件的技術性。其優點是機器設備簡易，項目投資少，但只有生產制造樣子簡易、縱橫比小的元器件。它是根據蝕刻加工光伏材料得到的，耗費很多的光伏材料（有時候稱之為減成加工工藝），而且只有應用光伏材料做為生產加工目標。

2、表層微生產加工技術性

表層微生產加工關鍵依賴在基材上逐級加上原材料空氣彈簧生產工藝流程《MEMS解讀》MEMS微生產制造加工工藝詳細介紹，運用表層生長發育法和光刻法在表層生產制造各種各樣微機械系統元器件。在基材的頂表面堆積和蝕刻加工金屬材料、結晶硅、氮化合物、金屬氧化物、有機材料等。常見的堆積技術性有揮發、磁控濺射、絲印油墨、CVD（有機化學液相堆積）、電鍍工藝等，也是有干蝕刻加工和濕蝕刻加工技術性。其優點是根據在光伏材料中添加各種各樣原材料，產生需要的構造，可以生產制造出更繁雜的零件，但技術性更繁雜，機器設備也更價格昂貴。

3、LIGA微生產加工技術性

LIGA生產加工是法語光刻技術、電鍍工藝（也稱電鑄）和壓鑄模具的簡稱。LIGA技術性可以生產加工金屬材料、塑膠等非光伏材料，可以生產加工大縱橫比的零件空氣彈簧生產工藝流程，這針對容積微生產加工和表層微生產加工而言是艱難的。但該加工工藝必須以同步輻射設備造成的較高能放射線為關鍵解決方式，機器設備價格昂貴，項目投資大。

先在金屬材料基材鋪上一層PMMA（聚乙酸乙烯酯，有機玻璃板），隨后在上面放一個模版，運用同歩網絡加速器設備造成的較高能放射線對PMMA開展蝕刻加工，最終產生必須的間隙隨后根據電氣設備方式添充內腔，隨后除去PMMA以獲取需要的合金傳動齒輪。