使用M/31102橡膠氣囊的常識(shí)
M/31102橡膠氣囊一般由奧氏體材料或根據(jù)客戶要求制造。尺寸選擇合理，應(yīng)力合適，活塞桿行程尺寸8mm的余量。選用球形橡膠氣囊和鉸鏈?zhǔn)讲y管，應(yīng)加裝導(dǎo)向支架，避免波紋管失去穩(wěn)定性。選用其他方式，補(bǔ)償管道太長(zhǎng)時(shí)，還應(yīng)提供導(dǎo)向支撐。補(bǔ)償管道較長(zhǎng)時(shí)要采用減小磨擦。
橡膠氣囊的密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)大多選用結(jié)構(gòu)，兩邊，端面為光滑突面，兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴(yán)密。隔離外部環(huán)境對(duì)印壓光刻機(jī)的影響，能夠保護(hù)壓印機(jī)不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統(tǒng)的減振原理，確定了剛度及減振系統(tǒng)的共振頻率，并與實(shí)際減振系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果相符合，說(shuō)明印壓光刻機(jī)低頻減振設(shè)計(jì)合理可行。
M/31102橡膠氣囊能夠同時(shí)承受多向載荷，進(jìn)而簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具有很強(qiáng)的內(nèi)阻。對(duì)于吸收忽然沖擊、高頻振動(dòng)和隔音有很好的效果，形狀不限，各方向剛度可根據(jù)設(shè)計(jì)要求隨意選擇，盡管彈性模量小的邊沿尺寸和曲囊直徑，但可以得到較大的彈性變形，容易達(dá)到理想的非線性特點(diǎn)。